山窝窝体育

浅谈普洛帝清洁度检测仪PSC-3A在电子半导体行业的应用阐发

发布日期:2022-05-26 22:46    点击次数:85

浅谈普洛帝清洁度检测仪PSC-3A在电子半导体行业的应用阐发

随着半导体技能的接续倒退,对工艺技能的哀告越来越高,特殊是对半导体圆片的详情品格哀告越来越严,其首要启事是圆片详情的颗粒和金属杂质沾污会重大影响器件的品格和废品率,在而今的集成电路临蓐中,由于圆片详情沾污成就,在临蓐进程中构成为了良多原质料的糟践。不克不迭取得最高的经济效益。

在半导体临蓐工艺中,险些每道工序中都需求举行洗涤,圆片洗涤品格的短长对器件性能有亚重的影响。正是由于圆片洗涤是半导体建造工艺中最首要、最频繁的工步,而且其工艺品格将间接影响到器件的废品率、性能和牢靠性,所以海外外各大公司、研究机构等对洗涤工艺的研究一贯在接续地举行。

而今已研制出的圆片洗涤技能有:湿法化学洗涤、超声洗涤、兆声洗涤、鼓泡洗涤、擦洗、低压喷射法、离心喷射法、流体力学法、流体动力学法、干法洗涤、微集射束流法、激光束洗涤、冷凝喷雾技能、汽相洗涤、非漫湿液体喷射法、在线真空洗涤、RCA洗涤、等离子体洗涤、原位水冲洗等。这些编制和技能已被普及应用于半导体圆片的洗涤工艺中。

普洛帝puluody公司研发的详情清洁度体系PSC-3A,它一种经由过程荧光检测技能量化检测金属、陶瓷、玻璃、半导体等质料详情传染物的仪器,以RFU值相对荧光值默示清洁度的上下。RFU为相对荧光强度值,RFU值越大,整机详情的残留传染物含量也越高,反之则相反。

PSC-3A清洁度检测仪

英国普洛帝阐发测试个体推出全新一代PULUODY系列PSC-3A详情清洁度检测仪,它给与了多种自有技能和精准算法,具有极度高的活络度、正确性和重复性,在0.1~30秒内就能测量出种种详情质料上传染的油脂传染物的含量,测量终局间接以标准值或百分比示值默示,极大方便了用户对产品品格及数据的解读和阐发。

PULUODY系列详情清洁度检测仪代表了倏地油脂传染物测量的高水温柔倒退倾向,科学应用详情清洁度检测仪可以或许实时监测零部件详情清洁度状况,行进临蓐效劳,为用户优化临蓐工艺并带来继续的效益。

功用特征:

测量精度:

抉择性高,活络度高,最低检出限可达1ug/ml、0.01FU(RFU)或0.01%,得当于种种烷烃类、烯烃类、炔烃类、芳香烃、多环(或杂环)芳烃等煤油基物(矿物油和解析油)质及种种荧光物质(C5~CN无机物)的痕量阐发。

工 作 原 理:

PCS系列详情清洁度检测仪给与PULUODY专有的荧光能量光谱检测技能,

当PCS荧光能量光谱激光器光子源照射到物质上时,荧光的能量使原子核周围的一些电子由原来的轨道跃迁到了能量更高的轨道,第一惹起复线态或第二惹起复线态等是不奔忙动的,所以会光复基态,当电子由第一惹起复线态光复到基态时,能量会以光的模式释放,所以孕育发生光物质中种种元素收回混和在一起的各自个性的荧光。这些个性的荧光具有个性的奔忙长或能量,每种荧光的强度与物质中收回该种荧光元素的浓度相干。为了判别混和在一起的各元素的荧光,首先应用PCS荧光能量光谱探测器领受全体差别能量的荧光,经由过程探测器扭转成电脉冲旗子灯号,经前置缩小后,用多道脉冲高度阐发器(MPHA)举行旗子灯号处理惩罚,失去差别能量荧光的强度漫衍谱图,仪器痛处荧光的强度漫衍谱图举行阐发,体系处理惩罚器行使行进先辈的算法就能将其解算为详情的清洁程度。

技能参数:

可测油脂:油渍、油脂、冷却润滑剂、切削液、蜡(C5~CN无机物)

测量示值:0~100%的油脂传染物相对清洁度

分 辨 率:0.01%

误 差 率:0.5%

FU测量值:0~1950FU/清洁度

分 辨 率:0.01FU/清洁度

误 差 率:0.5%

油膜厚度:0~9950mg/妹妹2

分 辨 率:0.1mg/妹妹2

误 差 率:0.5%

测 量 点:0~1.5妹妹或0~5妹妹

测量距离:3.5~4.5妹妹或20妹妹

激 发 奔忙:静态X荧光

惹起功率:150wn

检测频次:≥ 50 次/秒

标准参照:可在种种详情校准

计量溯源:GBW或NIST溯源

仪器校准:自动校准、手动校准和多点校准

测量点数:可痛处被测详情调整(1~5点)

通讯输出:R485或R232

掌握编制:PC机或工控机等

电源:可充电电池或电源适配器、220V



 




Powered by 山窝窝体育 @2013-2022 RSS地图 HTML地图